Хімічна обробка та фотолітографія у виробництві напівпровідникових приладів і мікросхем
Читати фрагмент
Моментальне завантаження
після оплати (24/7)
Широкий вибір форматів
(для всіх пристроїв)
Повна версія книги
(в т.ч. для Apple та Android)
У цій книзі розглядаються технологічні процеси хімічної обробки, фотолітографії та виготовлення фотошаблонів у виробництві напівпровідникових приладів і інтегральних схем. Представлено основи теорії цих процесів, методи й засоби контролю якості обробки, технологічні операції та обладнання.
LF/788053423/R
Характеристики
- ФІО Автора
- Мокеев О.К.
Романов А.С. - Мова
- Російська
- Дата виходу
- 1979
10 книг цього ж автора
Товари з цієї категорії:
У цій книзі розглядаються технологічні процеси хімічної обробки, фотолітографії та виготовлення фотошаблонів у виробництві напівпровідникових приладів і інте...