Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем

после оплаты (24/7)
(для всех устройств)
(в т.ч. для Apple и Android)
В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки, технологические операции и оборудование.
LF/788053423/R
Характеристики
- ФИО Автора
- Мокеев О.К.
Романов А.С. - Язык
- Русский
- Дата выхода
- 1979