Навчальний посібник. — Томськ: Видавництво Томського політехнічного університету, 2011. — 136 с. У посібнику наведено огляд основних видів тонкоплівкових покриттів, які наносяться за допомогою низькотемпературної плазми у вакуумі. Розглядається роль тонкоплівкових покриттів у технологічних процесах та важливість розробки нових покриттів із покращеними характеристиками. Визначено значення та описано способи попереднього очищення поверхні перед нанесенням тонких плівок. Аналізуються фізичні, механічні та хімічні властивості покриттів, що різняться за хімічним складом і сферами застосування, а також основні методи вимірювання і контролю параметрів покриттів. Посібник розрахований на бакалаврів, які навчаються за напрямом 011200 «Фізика», та магістрів фізики, що навчаються за програмами: «Фізика плазми», «Пучкові й плазмові технології», «Воднева енергетика».