Учебное пособие. - Томск: Изд-во Томского политехнического университета, 2011. - 136 с.В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий.Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлению 011200 «Физика» и магистров физики, обучающихся по программам: «Физика плазмы», «Пучковые и плазменные технологии», «Водородная энергетика».