Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления
Читать фрагмент
Моментальное скачивание
после оплаты (24/7)
Широкий выбор форматов
(для всех устройств)
Полная версия книги
(в т.ч. для Apple и Android)
Работа посвящена модификации поверхностного нанослоя металлов, их сплавов, полупроводников, диэлектриков, тонкопленочных покрытий с помощью высокочастотных разрядов индукционного и емкостноготипов при пониженном давлении. Описывается физическая иматематическая модели модификации поверхности материалов в высокочастотной плазме пониженного давления, а также результаты теоретического исследования закономерностей формирования основных параметров процесса модификации.
LF/169252/R
Характеристики
- ФИО Автора
- Абдуллин И. Ш.
Желтухин В. С.
Казан. гос. технол. ун-т
Сагбиев И. Р.
Шаехов М. Ф. - Язык
- Русский
14 книг этого же автора
Товары из этой категории:
Работа посвящена модификации поверхностного нанослоя металлов, их сплавов, полупроводников, диэлектриков, тонкопленочных покрытий с помощью высокочастотных р...