У цьому посібнику наведено огляд основних видів тонкоплівкових покриттів, які наносяться за допомогою низькотемпературної плазми у вакуумі. Розглядається роль тонкоплівкових покриттів у технологічних процесах та важливість розробки нових покриттів із покращеними характеристиками. Визначено значення та описано способи попереднього очищення поверхні перед нанесенням тонких плівок. Проаналізовано фізичні, механічні й хімічні властивості покриттів, що різняться за хімічним складом і сферами застосування, а також основні методи вимірювання й контролю параметрів покриттів. Гриф: Рекомендовано як навчальний посібник Редакційно-видавничою радою Томського політехнічного університету