Данное учебное пособие предназначено для студентов физико-математического факультета, направлений подготовки: 210600 Нанотехнология; 210100 Электроника и наноэлектроника. Рекомендуется в качестве дополнительного материала к курсу лекций по дисциплине «Методы диагностики и анализа микро- инаносистем». Изучение данной дисциплины направлено на ознакомление с кругом актуальных задач диагностики наноматериалов и систем. Рассматриваются вопросы: основы сканирующей туннельной микроскопии, спектроскопия поверхности, физические основы атомно-силовой микроскопии; свойства поверхности в атомно-силовой микроскопии, контактный и полуконтактный методы исследования поверхности, метод фазового контраста, измерение распределения магнитных и электрических полей, нанооптика и микроскопия ближнего поля