Монографія систематизує фізичні методи дослідження структури, фазового складу та електрофізичних властивостей матеріалів і багатошарових тонкоплівкових структур, що використовуються в мікроелектроніці для створення мікросхем із інтегральною схемою (СБИС), а також для функціонального контролю мікросхем. У ній представлені результати застосування різних методів контролю на різних етапах розробки електронних виробів і показано їхню роль у технологічному ланцюжку створення СБИС. Книга розрахована на наукових і інженерно-технічних працівників, які займаються розробкою технологій створення СБИС із субмікронними розмірами, а також для викладачів, студентів і аспірантів фізичних, фізико-хімічних і технологічних спеціальностей вищих навчальних закладів.