Таганрог: ТТИ ЮФУ, 2010. — 72 с. У цьому навчальному посібнику розглядаються перспективні методи формування структур елементів наноелектроніки та наносистемної техніки. У першому розділі подано огляд сучасних літографічних методів, розглядаються альтернативні підходи до нанолітографії, зокрема використання скануючого зондового мікроскопа, а також описано структури пристроїв наноелектроніки. Другий розділ присвячений аналізу механізмів локального анодного окислення металів, представлено математичну модель розрахунку умов і режимів формування наноструктур методом ЛАО на основі тонких металевих плівок. Цей навчальний посібник може бути корисним студентам під час вивчення курсів «Зондові технології наноелектроніки», «Технологічні процеси мікро- і наноелектроніки», «Матеріали та методи нанотехнологій», а також при проходженні передової професійної підготовки і перепідготовки фахівців, орієнтованих на інвестиційні проекти ГК «РОСНАНОТЕХ» у галузі проектування та виробництва СБІС із топологічними нормами 90 нм.