Методичний збірник розроблено відповідно до державних освітніх стандартів вищої професійної освіти за напрямом підготовки дипломованого спеціаліста 654100 - ''Електроніка та мікроелектроніка'' (спеціальність 200400 - ''Промислова електроніка'') та напрямом підготовки бакалавра 550700 - ''Електроніка та мікроелектроніка''. Збірник містить робочу програму, тематичний план лекцій, перелік основної та додаткової літератури, завдання на курсову роботу та методичні вказівки до її виконання. У робочій програмі розглянуті основи плівкової та напівпровідникової мікроелектроніки; особливості виготовлення ІМС, БІС, НБІС, мікрозбірок, питання розробки та проектування різних типів ІМС, основи функціональної мікроелектроніки. Методичні вказівки до виконання курсової роботи розроблені для надання допомоги студентам і містять методики розрахунку тонкоплівкових елементів, методичні вказівки та рекомендації з розробки топології та технології виготовлення ІМС, а також необхідні для виконання роботи довідкові дані. Розглянуто основні технологічні методи та цикли виготовлення тонкоплівкових ІМС