Цей посібник є продовженням навчально-методичних матеріалів з фізики напівпровідників, в якому розглянуті об'ємні властивості напівпровідникових матеріалів і методи їх дослідження. У посібнику розглянута класифікація поверхневих електронних станів, дано введення в феноменологічну теорію поверхні і опис основних поверхневих властивостей напівпровідників. Особливу увагу приділено моделюванню найважливіших електрофізичних характеристик приповерхневої області просторового заряду напівпровідника, так як саме ці характеристики визначають робочі параметри МДП-транзисторів та інших польових напівпровідникових приладів, активно діючою областю яких є приповерхнева область напівпровідника. Матеріали навчального посібника підготовлені для самостійних і практичних занять з курсу "Фізика напівпровідників", який читається для студентів 3 курсу, що навчаються за спеціальністю "Мікроелектроніка та напівпровідникові прилади", однак можуть представляти інтерес і для студентів інших фізичних спеціальностей.