Справжні навчально-методичні матеріали є доповненням до навчального посібника ''Фізика і метрологія МДП-структур'' (Воронеж. Вид-во ВДУ, 1997), в якому викладені фізичні основи теорії структур метал-діелектрик-напівпровідник, методи аналізу рівноважних характеристик і нерівноважних процесів, властивості і методи дослідження МДП-структур, що складають основу елементної бази твердотільної електроніки. Ефективним засобом дослідження таких структур є електрофізичні методи, аналізу та практичної реалізації яких і присвячено цей посібник. Особливу увагу в посібнику звернено на коректність застосовності методів і інтерпретацію одержуваних результатів, оскільки забезпечуючи високу чутливість, електрофізичні вимірювання дають лише непряму інформацію про досліджуваний об'єкт. Матеріали посібника підготовлені для практичних занять за спецкурсами "Фізика МДП-структур" і "МДП-прилади", які читаються для студентів, які навчаються за спеціальністю "Мікроелектроніка та напівпровідникові прилади", однак можуть представляти інтерес і для студентів інших фізичних спеціальностей.